双臂，四指，真空机械手有节奏地伸缩旋转。
“伸缩动作3.2秒，旋转90度1.5秒，旋转180度2.2秒……”沈阳新松机器人股份有限公司半导体事业部工程师，正在实验室跟踪数据、调试产品。
“这是新松第一次对外提供双臂真空机械手。”公司事业部副总裁杨奇峰介绍，这个产品专为沈阳拓荆科技有限公司的半导体薄膜设备开发。
拓荆科技和新松机器人都是沈阳半导体装备产业技术创新战略联盟的骨干成员，处于沈阳半导体产业链的上下游。
“拓荆负责双臂真空机械手的需求导入与应用验证，新松负责产品研制，面向市场、客户导向，研制过程中边开发边测试。”杨奇峰说，“根据客户需求，经过3个多月攻关，目前新产品已进入测试阶段。研发成果也丰富了新松的产品系列，将提升终端厂的产能，实现共赢。”
半导体装备产业被誉为制造业皇冠上的明珠，产业链细分环节多、专业性强，这也意味着技术研发的高投入。2008年，沈阳半导体装备产业技术创新战略联盟在沈阳高新区管委会的支持推动下正式成立，之后高新区组织联盟骨干成员联合申报承担国家重大专项，在组织项目、研发过程中，经授权可以合理使用联盟其他成员的专利技术。
真空机械手是影响整机研发进度和产品竞争力的关键部件，杨奇峰和他的团队一点都不敢疏忽。
“在客户使用环境中产品依然保持稳定、可靠才行，这还需要大量验证。”杨奇峰说，“对于新产品，越少人用，产品的稳定性和可靠性就越难做上去。正是国家项目支持、联盟企业彼此宽容，帮我们度过了最初的业绩积累期。新松的单臂真空机械手目前已批量应用于国内主流半导体工艺设备。”
经过多年发展，沈阳半导体装备产业技术创新战略联盟由弱到强，19家企业、科研院所和高校覆盖了半导体装备产业链的不同环节，多个企业年产值突破2亿元。
展望“十四五”，杨奇峰和他的团队信心更足。“作为企业，要担起创新主体的责任，加大技术攻关力量，为优化升级产业链做贡献。”
